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產品詳情
  • 產品名稱:碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀

  • 產品型號:TN-PEC250G-HV
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理,碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀采用機械泵和分子泵,實現高真空。
詳情介紹:

○ 產品介紹

TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現高真空,能夠有效提高鍍膜質量。

○ 適用范圍

實驗室鍍膜使用。

○ 技術參數

真空腔體
 高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm
蒸發腔體 
 高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm
等離子濺射腔體
 高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm


 等離子濺射套件 

 濺射電壓1600V

*大電流50mA
靶面尺寸2英寸
工作真空10Pa~20Pa
工作氣氛需通入高純氬氣


熱蒸發鍍膜套件

 蒸發源數量2個

*大電流100A
工作真空10^-3Pa
工作氣氛不通入任何氣體
樣品臺直徑φ60mm,可旋轉


 


 碳蒸發套件

 蒸發方式碳棒蒸發

*大電流160A
工作真空10^-3Pa
工作氣氛不通入任何氣體
真空系統
 產品型號TN-GZK103-A
分子泵渦輪分子泵
前極泵雙極旋片泵
抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa
旋片泵:1.1L/S
極限真空5×10E-4Pa
抽氣接口KF40
排氣接口KF16
真空測量復合真空計
進氣系統
 配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭
供電要求
 AC 220V 50Hz

○免責聲明

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