緊湊型紫外線臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干式清洗技術，對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產生波長185nm和254nm的紫外線，185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時激發清洗表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短，且同時也被254nm的光分解，因此可調節樣品臺到燈管的距離來優化性能。

緊湊型紫外線臭氧清洗機技術參數：

輸入功率	AC 110V or AC 208~240V( 可選的)
紫外燈	?     固體金屬雙波汞燈 ?     紫外燈功率：zui大55W。 ?     波長：254nm和185nm ?     紫外燈使用壽命：2500小時 ?     紫外線照射面積：100×100 mm（4”×4”） ?     峰值紫外線強度：4.6毫瓦/平方厘米。
腔室和樣品臺	?     外形尺寸：9 1/2”×7 7/8”×6” ?     抽屜尺寸：5 1/4”×5 1/4”×1” ?     抽屜到燈的距離：1 1/16“ ?     從基座到燈的距離：5/16“ ?     硼硅酸鹽玻璃基座：4”×4”×3/4” ?     18號鋼制底盤和蓋板，粉末涂層 ?     總重量：9磅
合規	CE認證
保證	一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室不保修)
環境要求	?    只在室內使用;海拔高度可達5,562英尺; ?    溫度范圍41-104華氏度; ?    zui高相對濕度80％，高達87 華氏度線性降低至50％相對濕度，華氏104度; ?    主電源波動不超過額定電壓的10％;過壓類別II; ?    污染等級2;臭氧水平（環境）測量<45 ppb。
Application	?    清潔SPT，AFM**和表面的分子污染 ?    固化UV-粘合劑 ?    SAM表面的紫外光圖案化 ?    氧化PDMS ?    蝕刻，圖案，銳化 ?    清潔MEMS器件 ?    清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底

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